Re: Tecnologia del silicio (piccole domande)

From: Andrea Francinelli <a.francinelli_at_libero.it>
Date: Wed, 31 Jul 2002 05:53:29 GMT

Scusa il ritardo. Ultimamente non ho seguito il NG.

> 2) Che roba � il gas *carrier*

Il gas di trasporto. Silano nel caso di epitassia.
Arsina o fosfina in caso di deposizione di droganti.

> 3) Che � il *riscaldamento induttivo* ?

Si riscalda il forno con una bobina a frequenza
molto alta.

> 4) Come � possibile che le pareti del reattore rimangono fredde ?

Il calore viene trasferito all'interno senza contatto.
Di fatto non esiste nulla che scalda. Solo la bobina,
che viene raffreddata ad acqua o a olio.

> 5) Che � un *suscettore* ?

E' il supporto dei wafer. Deve avere caratteristiche
particolari: abbastanza inerte (o comunque non
contaminante) e non deve interferire con la radiazione
RF. Inoltre provvede a distribuire uniformemente il
calore.

Comunque trovi tutto su: Sze, "VLSI Technology".

Andrea.
Received on Wed Jul 31 2002 - 07:53:29 CEST